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FT-CZ1400Si

硅部件级单晶炉

拉晶过程全程自动化

在惰性气体环境中,用石墨加热器将硅材料熔化,

用直拉法生长无位错单晶的设备。

 

性能优势

 大直径设计结构:匹配大直径单晶硅棒生长所需空间。

可采用连续加料装置。

采用超低碳不锈钢材料,结构稳定。

12英寸硅部件级单晶炉
型号  FT-CZ1400Si
场所 周围温度 15~30℃
周围湿度 ≤65%(无结露,腐蚀气体)
洁净度 一般环境水平
噪音 ≤75db
地基 3000kg/㎡以上
电源 额定电压 3P 380VAC±10%  50/60Hz
额定电容 350kVA(主副合算)
额定流量 530A(主副合算)
冷却水 流量范围 350~400L/min
供给压力 0.3~0.5MPa
重量 设备高度 <8800mm                                                                              △   
设备重量 约15T

 

 

△ 项数据视上炉筒高度而定,本设备数据不含磁场。

全国热线

021-36162928

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